＊ 桌面化的小型設備 ＊ 光學直寫定位精度優于1nm ＊ 特征結構間隙可達100nm ＊ 可用于非平表面加工 ＊ 自帶溫度控制保證高精確度 ＊ 用戶友好的全自動軟件控制 ＊ 系統性能穩定，零維護 |  |
主要特點：
最小特征結構可小達1μm
對I-line光刻膠進行優化（SU-8，AZ，……）
超快不超高精度定位，定位分辨率＜1nm
適用于從CAD設計到各種結構的快捷構建
用戶友好的單應用界面
獨有的光斑間距調節功能以獲得超高平滑度的結構
具備自勱對焦機制不離焦直寫模式
內建顯微鏡可用于樣品定位
具備非平表面直寫能力
可構建高深寬比結構（可達10:1）
