URE-2000/25
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1.技術參數
l 曝光面積:100mm×100mm(或150 mm×150mm)
l 分辨力:1.5mm(膠厚2 mm的正膠)
l 對準精度:±0.8mm
l 掩模樣片整體運動范圍:X:6mm;Y:6mm
l 掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
l 樣片尺寸
直徑f15mm-- f100mm(可適應非標準片或碎片)
厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)
l 照明均勻性: ±4%( f100mm 范圍)
l 掩模相對于樣片運動行程:
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6度
l 汞燈功率:350W(直流)
l 曝光波長:365nm
l 曝光能量密度:15mW/cm![]()
l 曝光方式:定時(倒計時方式0.1s—999s)
2.外形尺寸:1200mm(長)′900mm(寬) ′1600mm(高)
3.配置
(1)曝光頭
l 冷光橢球鏡
l 350W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
l XYZ汞燈調節臺
l 光學系統:固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡1、準直鏡鏡2、蠅眼透鏡組(79個透鏡)、i線濾光片、場鏡1、場鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2
l 冷卻風扇
(2)對準工件臺
¨掩模樣片整體運動臺
¨掩模樣片相對運動臺
¨轉動臺
¨樣片調平機構, 手動
¨樣片調焦機構,手動
¨承片臺3個(Ø50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm)
掩模夾4個(2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸)
¨掩模抽拉式上下機構
(3)對準顯微鏡
¨光源(配備品2只)、 電源
¨雙目雙視場對準顯微鏡主體
¨目鏡3對(10倍、16倍、20倍,共6個)
¨物鏡3對(4倍、10倍、20倍,共6個)
(4)電控系統
¨汞燈觸發電源(350W直流汞燈)
¨單片機控制系統
¨控制柜桌
(5)氣動系統
¨氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等
¨電磁閥驅動
¨氣動儀表
(6)其他附件
¨真空泵一臺
¨空壓機一臺
¨管道

