1．技術參數

l  曝光面積：100mm×100mm（或150 mm×150mm）

l  分辨力：1.5mm（膠厚2 mm的正膠）

l  對準精度：±0.8mm

l  掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm

l  掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

l  樣片尺寸

直徑f15mm-- f100mm(可適應非標準片或碎片)

    厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)

l  照明均勻性： ±4%（ f100mm 范圍）

l  掩模相對于樣片運動行程：

   X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6度

l  汞燈功率：350W（直流）

l  曝光波長：365nm

l  曝光能量密度：15mW/cm

l  曝光方式：定時（倒計時方式0.1s—999s）

2．外形尺寸：1200mm（長）′900mm(寬) ′1600mm（高）

3．配置

（1）曝光頭

l  冷光橢球鏡

l  350W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

l  XYZ汞燈調節臺

l  光學系統：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡1、準直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（79個透鏡）、i線濾光片、場鏡1、場鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2

l  冷卻風扇

（2）對準工件臺

¨掩模樣片整體運動臺

¨掩模樣片相對運動臺

¨轉動臺

¨樣片調平機構, 手動

¨樣片調焦機構，手動

¨承片臺3個（Ø50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm）

     掩模夾4個（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）

¨掩模抽拉式上下機構

（3）對準顯微鏡

¨光源（配備品2只）、   電源

¨雙目雙視場對準顯微鏡主體

¨目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）

¨物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）

（4）電控系統

¨汞燈觸發電源(350W直流汞燈)

¨單片機控制系統

¨控制柜桌

（5）氣動系統

¨氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等

¨電磁閥驅動

¨氣動儀表

（6）其他附件

¨真空泵一臺

¨空壓機一臺

¨管道