1．技術參數

l  曝光面積：f100mm

l  分辨力：1.7mm（膠厚2 mm的正膠）

l  對準精度：±1mm

l  掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm

l  掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

l  樣片尺寸：直徑f15mm-- f100mm

              厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)

l  照明均勻性： ±5%（f100mm 范圍）

l  掩模相對于樣片運動行程：

   X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6度

l  汞燈功率：200W（直流）

l  曝光波長：365nm

l  曝光能量密度：6mW/cm

l  曝光方式：定時（倒計時方式）

2．外形尺寸：650mm（長）′600mm(寬) ′900mm（高）

3．配置

（1）曝光頭

l  200W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

l  XYZ汞燈調節臺

l  光學系統

l  冷卻風扇

（2）對準工件臺

¨掩模樣片整體運動臺

¨掩模樣片相對運動臺

¨轉動臺

¨樣片調平機構,手動

¨樣片調焦機構，手動

¨承片臺3個（Ø50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm  ）

     掩模夾4個（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）

¨掩模抽拉式上下機構

（3）對準顯微鏡

¨光源（配備品2只）、電源

¨雙目雙視場對準顯微鏡主體

¨目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）

¨物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）

¨CCD（臺灣）

¨19寸液晶顯示器

（4）電控系統

¨汞燈觸發電源(200W直流汞燈)

¨單片機控制系統

¨控制機箱

（5）氣動系統

¨氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等

¨電磁閥驅動

¨氣動儀表

（6）其他附件

¨真空泵一臺

¨管道

（7）技術資料

¨使用維修說明書

¨顯微鏡使用說明書