详细说明
URE-2000/15
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1.技術參數
l 曝光面積:f100mm
l 分辨力:1.7mm(膠厚2 mm的正膠)
l 對準精度:±1mm
l 掩模樣片整體運動范圍:X:6mm;Y:6mm
l 掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
l 樣片尺寸:直徑f15mm-- f100mm
厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)
l 照明均勻性: ±5%(f100mm 范圍)
l 掩模相對于樣片運動行程:
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6度
l 汞燈功率:200W(直流)
l 曝光波長:365nm
l 曝光能量密度:6mW/cm![]()
l 曝光方式:定時(倒計時方式)
2.外形尺寸:650mm(長)′600mm(寬) ′900mm(高)
3.配置
(1)曝光頭
l 200W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
l XYZ汞燈調節臺
l 光學系統
l 冷卻風扇
(2)對準工件臺
¨掩模樣片整體運動臺
¨掩模樣片相對運動臺
¨轉動臺
¨樣片調平機構,手動
¨樣片調焦機構,手動
¨承片臺3個(Ø50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm )
掩模夾4個(2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸)
¨掩模抽拉式上下機構
(3)對準顯微鏡
¨光源(配備品2只)、電源
¨雙目雙視場對準顯微鏡主體
¨目鏡3對(10倍、16倍、20倍,共6個)
¨物鏡3對(4倍、10倍、20倍,共6個)
¨CCD(臺灣)
¨19寸液晶顯示器
(4)電控系統
¨汞燈觸發電源(200W直流汞燈)
¨單片機控制系統
¨控制機箱
(5)氣動系統
¨氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等
¨電磁閥驅動
¨氣動儀表
(6)其他附件
¨真空泵一臺
¨管道
(7)技術資料
¨使用維修說明書
¨顯微鏡使用說明書

