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详细说明
多功能集成設備
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用途：設備采用團簇結構(cluster)對數個獨立功能的真空室集成，通過中央轉換室及精密機械手將樣品在不同真空室自動 傳遞，中央轉換室與各功能室之間釆用真空鎖隔斷，保證在不破壞真空的情況下，完成多種工藝過程，達到完成復雜工藝器 件制造的目的。cluster系列設備可以集成PVD、CVD、刻蝕、退火、在線測試等多種功能腔體，是高端的工藝器件研發設 備。適用于科研院所、大專院校、生產企業的科學研究、教學、小批量生產。
控制單元包扌舌：真空系統、工作壓強、電源系統、工藝氣體流量、加熱系統、冷卻系統、運動系統、工藝系統、工藝過程、 系統監控及數據釆集等。全自動操作、半自動操作模式可在線切換。
