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详细说明
去膠機
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真空系統：機械泵系統
樣片數量及尺寸：1片$ 8英寸
刻蝕材料：光刻膠、聚酰亞胺等材料
去膠速度：100-500nm/min
電源配置：射頻電源
質量流量控制器：4-6臺操作模式：全自動+半自動
